Ultra-Pemesinan Optik Ketepatan: Batu Penjuru Ketepatan Pembuatan-Ketepatan Tinggi

Pemesinan optik-kepersisan ultra ialah teknologi pembuatan teras untuk-komponen optik tinggi (seperti kanta litografi, tingkap pengesanan inframerah dan resonator laser). Kelebihan utamanya terletak pada mencapai tahap submikron-(0.1–1μm) kepada nanometer-paras (0.01–0.1μm) ketepatan bentuk dan kedudukan serta kualiti permukaan - tahap kejituan ini bersamaan dengan satu sepuluh{10}}seribu diameter rambut manusia, jauh melebihi had pemesinan mekanikal.

Dalam aplikasi praktikal, teknologi ini memperkasakan tiga bidang-tinggi yang utama:

Pengilangan semikonduktor: Kanta optik teras peralatan litografi mesti mencapai ketepatan bentuk permukaan paras- nanometer, yang secara langsung menentukan realisasi proses cip (seperti teknologi 7nm dan 5nm);

Aeroangkasa: Komponen optik sistem panduan inframerah dan kanta penderiaan jauh satelit perlu mengekalkan ketepatan dalam persekitaran yang melampau, bergantung pada pemesinan ultra{0}}ketepatan untuk memastikan kualiti pengimejan;

Penjagaan perubatan-tinggi: Komponen optik peralatan pembedahan laser dan mikroskop-beresolusi tinggi memerlukan pemesinan tahap submikron-untuk mengurangkan herotan optik dan meningkatkan ketepatan diagnosis dan rawatan.

Kejayaan pemesinan optik ultra-ketepatan pada asasnya menyelesaikan kesesakan teras "daripada reka bentuk kepada pengeluaran besar-besaran komponen optik-tinggi", dan merupakan sokongan teknikal utama untuk mempromosikan peningkatan-pembuatan tinggi kepada "ketepatan muktamad".

II. Kawalan Suhu: Premis Teras untuk Mengekalkan Prestasi Ketepatan Ultra-

Pemesinan ultra-kepersisan sangat sensitif terhadap suhu persekitaran dan peralatan, dan kestabilan ketepatannya bergantung sepenuhnya pada kebolehpercayaan kawalan suhu:

Sumber ralat: Walaupun pekali pengembangan terma bahan optik (seperti kuarza, nilam dan hablur inframerah) adalah rendah, semasa pemesinan, penggilapan atau proses pemeriksaan, turun naik suhu hanya ±0.1 darjah akan menyebabkan pengembangan dan pengecutan haba bahan, secara langsung mengakibatkan ralat pemesinan peringkat dan{1}} nanometer; dan pemesinan pemesinan dan pengimbangan terma

-Keperluan proses penuh: Daripada pemotongan kosong, pengisaran ketepatan, penggilap mekanikal kimia (CMP) hingga pemeriksaan ketepatan akhir, setiap pautan perlu mengekalkan suhu malar - pengendalian motor peralatan pemprosesan, geseran cecair penggilap dan penjanaan haba komponen elektronik instrumen ujian semuanya akan memusnahkan keseimbangan suhu;

Kesan rantai: Suhu yang tidak stabil bukan sahaja membawa kepada penurunan mendadak dalam kadar kelayakan produk (untuk-komponen optik tinggi, setiap peningkatan 1% dalam kadar kelayakan boleh mengurangkan kos sebanyak 15%–20%), tetapi juga mempercepatkan haus peralatan dan memendekkan hayat perkhidmatan komponen teras (seperti spindle ketepatan dan kepala pengisar).

III. Penyejuk Air: Penyelesaian Penyejukan Teras untuk Pemesinan Optik Ultra{1}}Ketepatan

Sebagai "penjaga suhu" pembuatan ultra-kejituan, penyejuk air menyediakan persekitaran suhu yang berterusan dan stabil untuk keseluruhan proses pemesinan, penggilapan dan pemeriksaan melalui teknologi kawalan suhu yang tepat. Peranan utamanya dicerminkan dalam aspek berikut:

Keupayaan kawalan suhu yang tepat: Ia boleh mencapai ketepatan kawalan suhu malar ± 0.1 darjah dengan kelajuan tindak balas yang pantas, menyesuaikan diri dengan keperluan pelesapan haba peralatan yang berbeza;

Pelesapan haba berkecekapan tinggi-tinggi: Ia sepadan dengan keperluan beban haba peralatan pemprosesan kuasa tinggi-, membantu mengekalkan ketepatan gelendong, komponen optik dan bahagian struktur;

Dilanjutkan hayat perkhidmatan peralatan: Kawalan suhu yang stabil boleh memanjangkan hayat perkhidmatan gelendong ultra-kepersisan dan kepala pengisar, mengurangkan kos penggantian komponen teras;

Dilengkapi dengan reka bentuk anti-kakisan dan-penskalaan: Ia mengelakkan sekatan litar penyejukan atau kakisan peralatan dan memanjangkan kitaran penyelenggaraan sistem.

Ringkasan

Antara pelbagai teknologi penyejukan untuk pemesinan optik-kepersisan ultra, penyejuk air, bergantung pada kecekapan pertukaran haba yang unik dan kestabilan kawalan suhu, telah menjadi penyelesaian pilihan untuk peralatan kuasa sederhana dan tinggi-dan senario pemesinan berketepatan tinggi-tinggi.

Ia bukan sahaja menyelesaikan percanggahan teras antara "pematuhan ketepatan" dan "pengeluaran besar-besaran" komponen optik-tinggi, tetapi juga menggalakkan peningkatan industri strategik seperti semikonduktor, aeroangkasa dan penjagaan perubatan ke arah "ketepatan yang lebih tinggi, kos yang lebih rendah dan kapasiti pengeluaran yang lebih stabil", berfungsi sebagai jaminan tiga kali ganda "ketepatan, kestabilan dan kecekapan" dalam bidang yang tinggi{{1} pembuatan.